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對準系統共有兩套,具備調焦功能。主要就是由雙目雙視場對準顯微鏡主體、目鏡和物鏡各1對(光刻機通常會提供不同放大倍率的目鏡和物鏡供用戶組合使用)。
而楊小樂對sony公司的ccd感光元件這么感興趣、甚至不惜大丟臉面的垂涎三尺,就是為了將ccd應用在對準系統上,前世應用廣泛的ccd對準系統作用是將掩模和樣片的對準標記放大并成像于監視器上。
不錯,楊小樂就是想借此進入光刻機的市場。
而要想進入這個真正的高科技行業,除了從日本的尼康和佳能入手以外,楊小樂暫時別無他法,因為這個行業是個系統工程,高端光刻機集精密光學、機械、控制、材料等先進科技和工程技術于一體,是集成電路裝備中技術難度最高、價格最昂貴的關鍵設備,被稱為人類技術發展的制高點和制造工業“皇冠上的明珠”。
光刻機的水平決定著集成電路的發展水平,它在ic制造設備的價值鏈中占30%—40%。而光刻機的主要難點聚焦在準分子光源、光學系統和超精密運動高速工作臺。猶如世界上沒有兩片相同的葉子,同樣,也沒有兩臺一模一樣的光刻機。每臺光刻機,都有自己獨一無二的“光刻指紋”。楊小樂的最終目的就是要生產完全屬于自己的光刻機。
一臺光刻機有上萬個零部件要在電腦程序的控制下進行復雜協調的聯動,其運動精準程度的誤差不得超過一根頭發絲的千分之一,這無異于在頭發上“繡花”!打個通俗的比喻,就如同坐在一架超音速飛行的飛機上,拿著線頭穿進另一架飛行飛機上的針孔。
而光刻機就好像一個人,一個個子系統就如同人體的各種器官。首先,要有總體框架,每個“器官”大小尺寸必須系統設計,否則五花八門,大小不一,不合規范。其次,即使各個單位制造的“器官”都符合指標要求,但一裝到系統就常常出現問題,這里還存在很多復雜因素。其中的集成經驗要通過大量的工程演練才能形成。就如同人經常會發燒生病,有先天體質原因,這就是光刻機的性能指標;也有后天因素,這就要靠“醫生”也就是集成部門去診斷,技術人員不僅要“驗血檢查”,還要告訴供應商真正的病根。
比如說,今天天氣和溫度變了,空氣壓力變了,設備的對焦就不準確了。這需要研發部門的人做仿真模擬,研究空氣對哪些部件有影響,或許這其中會遇到一個問題,百思不得其解,往往需要花費無數的時間才能解決。任何集成都是創新,在這個過程中研發部門都經常會遇到死胡同,為了絕地反擊,起死回生,除了大把的往里面砸資金以外,別無他法!
光刻機就像一臺精密復雜的特殊照相機,是芯片制造中“定義圖形”中最為重要的一種機器。
每顆芯片誕生之初,都要經過光刻技術的鍛造。光刻機就像個以光為刃的鑄劍高手,將硅片從一粒頑石變為智慧之腦,一閃之間,母版上復雜的電路設計圖形即轉化為硅片上細微繁密的溝壑紋理。誰掌握了這種利刃,就擁有了集成電路產業發展水平的技術掌控權。各發達國家政府一直對相關戰略產業持續投入,爭取戰略競爭優勢,在此領域,荷蘭、美國、日本早已虎踞龍盤。
前世的尼康公司創建于1917年,由當時在日本領先的3家光學儀器制造部門合并組成,現有職員6900余人。于60年代中期涉足半導體制造領域,1980年介入stepper(步進曝光機)制造領域,至今已向世界市場提供了6200余臺stepper,自1996年起stepper年銷售額(20億美元)便超過了公司年銷售額(約35億美元)的一半以上,達60%。2000年尼康公司的stepper全球銷售額達24.3億美元,占當年全球光刻設備市場41%的份額。自1985年起,nikon公司的stepper全球銷量便取代了gca公司多年來(1978~1984年)的霸主地位(當年nikon公司145臺,gca公司115臺),之后其產量逐年上升,到1996年財政年度(1996年3月~1997年3月)nikon公司stepper年銷售量創歷史最高記錄,達到900余臺,占當年世界stepper市場銷售量(1530臺)的3/5,從1985年2001年,尼康公司已連續獨霸世界stepper市場之首達16年之久。
而前世同屬日本的佳能公司創建于1937年,其前身為“精機光學研究所”,是全球著名的跨國公司,1970年開始涉足半導體制造領域,更是早于尼康在1978年推出激光自動對準光刻機“pla-500fa”,1979年推出了第一臺1:1反射投影光刻機“mpa-500fa”,1984年推出第一臺商品化步進重復縮小投影光刻機“fpa-1500fa”,1990年推出第一臺i線光刻設備“fpa-2000ii”,整個80年代canon公司以生產1へ1反射投影光刻機為主導光刻設備。截止1991年,其向世界市場提供pla300~pla600fa系列光刻設備3000臺。進入90年代之后,該公司的光刻設備轉向了以stepper為主。1996年的市場銷售額達12.12億美元,在當年世界十大半導體設備公司中排序第五,在stepper銷售市場中排名第二(尼康、佳能、a**l)。其stepper市場主要集中在日本和歐洲,2000年的全球市場銷量為260臺,2001年約為400臺。
然而,花無百日紅,人無千日好。
前世的a**l公司從2011年起已經壟斷了高端芯片曝光機市場,也控制了中低端芯片曝光機市場80%的份額,同時擁有整個芯片曝光機市場105%的利潤(因為尼康尼是虧損的),此后,a**l的壟斷格局更加明顯了,佳能識時務,2008年開始逐步退出芯片曝光機業務,停止虧損,專注于打印機業務。日本最大財團三菱集團不甘心失去這個領域的產能,竭盡全力支撐尼康的芯片曝光機,虧損也不愿意退出,不過結果是越陷越深。