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一個從來沒有研究過EUV技術的年輕人,放出話在要半年內研制出單次曝光光刻12納米的智能光刻機。聽到這個消息時,長春光機所所長賈斌第一反應是癡人說夢話。
要知道,長春光機所三代人花了六十多年時間才剛剛攻克了22納米光刻機,你一個搞軟件開發的憑什么敢如此妄言?
然而,當賈斌發現阿斯麥和尼康兩大光刻機巨頭都沒有第一時間就周易的宣言發表他們的看法,不由有點感到困惑。
很快,賈斌發現一個更奇怪的現象:國內外沒有一家公司、一家媒體就周易的宣言進行質疑和攻擊!
這顯然就有點不正常了。
周易一直想買一臺極紫外光刻機,這事賈斌是知道的。
之前還以為周易是想自己投資搞一家芯片制造廠生產爻語言智能芯片,覺得這個年輕人未免把芯片制造看得太簡單了。
直到這時候賈斌才恍然大悟,周易哪里是想搞芯片制造廠,他竟然想自己造光刻機!
他從長春光機所引進這臺22納米的極紫外光刻機,顯然是打算在這款光刻機的基礎上進行智能化改進。
對于周易有沒有能耐開發出極紫外光刻機的軟件系統,賈斌一點也不懷疑。畢竟周易手中掌握了當今世界最先進的超級人工智能,這玩意對于開發軟件而言簡直就是個逆天大殺器。
賈斌甚至在想,荷蘭的阿斯麥公司和RB的尼康公司沒準也在琢磨引進周易的爻語言人工智能,為他們的產品的軟件系統升級。
或許,這就是阿斯麥和尼康不想得罪周易的主要原因。
帶著心中種種疑問和好奇,賈斌來到了江洲,來到了眼前這座明顯帶有神秘色彩的109所。
長春光機所也屬于高級保密單位,但跟這個剛成立沒多久的109所相比,內外都緊的安保警戒部署明顯差了許多。
經過三道全副武裝荷槍實彈警衛守衛的門禁,賈斌跟所有第一次進入二層智能實驗工廠的人一樣,第一眼就被這座充滿了科幻氛圍的機器人工廠給驚呆了。
全智能無人工廠!
看來這就是周易想要研制智能光刻機的底氣所在。
賈斌不知道的是,當國家高層得知周易要研制世界最先進智能光刻機的消息后,馬上動用國家力量,把國內所有從事光刻機研究的企事業單位掌握的技術資料,都復制了一份送到109所。
相比于普通的老百姓,國家領導人對先進光刻機受制于人,導致華夏高端半導體產業嚴重拖后這口悶氣比任何人都要重得多。
看著前方大屏幕上不住變化的圖形,賈斌若有所思地問道:“周主任,這是在進行智能模擬演化嗎?”
“是的,賈所長。”
周易點頭說道:“小熊在對極紫外光刻技術、納米壓印光刻技術、無掩摸光刻技術進行對比分析和優化組合,從而計算推演出最佳設計方案。
確保這個設計可以最大限度地提高套刻精度、解決曝光工藝中的缺陷、抑制氣泡、控制液體流場穩定性、抑制殘留液體和污染,實現三次曝光技術有效結合,更進一步提高光刻分辯率,并最大限度地降低能耗。”
“周主任你也懂光刻技術?”賈斌明顯意外地望著周易問道。